典型的力,压力和加速度传感器的表示如图3所示。(灰色代表测试结构。蓝色对应于传感器外壳。压电晶体为红色。黑色电极是电荷来自的地方晶体在被黄色微电路调节之前积聚。加速度计还包含一个用绿色显示的质量。)注意,它们在内部配置上差别很小。在测量运动的加速度计中,晶体迫使不变的地震质量“M”跟随基座和它所连接的结构的运动。使用牛顿第二运动定律可以很容易地计算出晶体上产生的力:F = MA。压力和力传感器几乎相同,并依靠外力来拉紧晶体。主要区别在于压力传感器利用隔膜来收集压力,该压力仅仅是施加在区域上的力。
图3:传感器结构
由于它们的相似性,用于测量一个特定参数的传感器对其他输入也有些敏感。通过***小化对不需要事件的敏感度,传感器可以更准确地测量其预期参数。例如,复杂的压力传感器通常利用补偿元件来降低其对加速度的敏感度。其他传感器采用热补偿放大器来降低传感器的整体热系数。***后,加速度计利用替代的剪切结构传感元件来减少热瞬态,横向运动和基础应变的影响。