电容式加速度振动传感器在操作上与压阻式加速度振动传感器类似，因为它们测量桥接电路的变化。然而，它们不是电阻，而是测量电容的变化。传感元件由两个平行板电容器组成，以差分模式工作。它们依靠载波解调器电路或其等效电路产生与加速度成比例的电输出。有几种类型的电容元件。一种类型包含金属传感膜片和氧化铝电容器板。两个固定板将隔膜夹在中间，形成两个电容器。每个都有一个固定板，两个共用隔膜作为可移动板。

　　当暴露于加速度时，电容式加速度振动传感器经历由电极之间的距离变化引起的电容偏移。这种变化由于弯曲的移动而变化，弯曲也用作电极。

　　当传感器被放置在地球的重力场或加速通过振动在测试结构上，所述弹簧质量经受的力成比例的弹簧质量块的质量和由管辖F =毫安。因此，弹簧质量根据弹簧方程线性偏转：

　　该偏转导致电极和弹簧质量之间的距离变化。根据以下因素，这些变化对每个相对的电容器间隙有直接影响：

　　电容式加速度振动传感器需要一个内置电路它具有两种功能：它允许电容变化对测量静态和动态事件有用，并将变化转换为与读出仪器兼容的电压信号。

　　硅微机械加工技术可用于制造电容式加速度计以及压电和压阻式类型。硅的单晶性质，机械接头的消除以及机械止动件的化学加工产生具有高超范围能力的换能器。使用气体而不是硅油作为阻尼介质可在宽温度范围内扩展阻尼特性。中心质量的一系列凹槽和孔挤压气体，其热粘度相对于硅油的热粘度变化小，通过质量位移的结构。电容式MEMS加速度计可测量从<2 g到数百g的加速度以及高达1 kHz的频率，并可承受5000 g或更高的冲击水平。大多数都采用了将信号注入元件，完成桥接和调节信号的电子设备。这些加速度计的负面影响是有限的高频范围，相对较大的相移，以及比可比压电类型更高的本底噪声。

　　.电容式加速度振动传感器通常包含两个电容，调制电路，增益和滤波。

　　伺服(力平衡)加速度振动传感器

　　到目前为止描述的加速度振动传感器可以被分类为“开环”设备。与加速度成比例的地震质量的偏转直接使用压电，压阻或可变电容技术测量。与该质量位移相关联的是由于挠曲中的非线性导致的一些小但有限的误差。伺服加速度计是“闭环”设备。它们将检测质量的内部偏转保持在极小的极限。质量保持在“平衡”模式，几乎消除了由非线性引起的误差。弯曲系统可以是线性的或下垂的。与反馈电流成比例的电磁力将质量保持在零位。当质量试图移动时，电容传感器检测其运动。

　　伺服加速度计的开环价格***高可达10 3。它们的范围通常小于50克，并且它们足够精确，可用于制导和导航系统。对于导航，三轴伺服加速度计通常与三轴速率陀螺仪组合在一个热稳定的机械隔离封装中作为惯性测量单元(IMU)。该IMU能够确定在太空中导航所需的六个自由度。它们将频率测量为DC(0 Hz)，并且通常不会因其高频响应而受到追捧。